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硅片電阻率測試模組在日常應用中擁有眾多特點

更新時間:2024-03-27  |  點擊率:1068
  硅片電阻率測試模組是一款測量圓柱晶體硅電阻率測試儀器,可測量硅芯,檢磷棒,檢硼棒,籽晶等,由于儀器大大消除了珀爾帖效應、塞貝克效應、少子注入效應等負效應的影響,因此測試精度大大提高,量程實現(xiàn)了電阻率從10-4歐姆 . 厘米到10+4歐姆.厘米(可擴展)的測試范圍。因此儀器具有測量精度高、穩(wěn)定性好、測量范圍廣、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點。是西門子法、硅烷法等工藝生產(chǎn)原生多晶硅料的企業(yè)、物理提純生產(chǎn)多晶硅料生產(chǎn)企業(yè)、光伏及半導體材料廠、器件廠、科研部門、高等院校以及需要超大量程測試電阻率測試的企業(yè)的最佳幫手。
 

 

  硅片電阻率測試模組的使用特點:
  1、適合檢測硅芯,檢磷棒,檢硼棒,籽晶等圓柱晶體硅;
  2、適用于西門子法、硅烷法等工藝生產(chǎn)原生多晶硅料的企業(yè);
  3、適用于物理提純生產(chǎn)多晶硅料生產(chǎn)企業(yè);
  4、適用于光伏拉晶鑄錠及 IC 半導體器件企業(yè);
  5、適用于科研部門、高等院校及需要超大量程測量電阻率的企業(yè);
  6、儀器消除了珀爾帖效應、塞貝克效應、少子注入效應等負效應的影響,因此測試精度大大提高;
  7、測量精度高,除了具有厚度修正功能外、還有溫度修正、圓片直徑修正等功能;
  8、良好的設計能有效消除測量引線和接觸電阻產(chǎn)生的誤差,   實現(xiàn)了測量的高精度和極寬的量程范圍;
  9、雙數(shù)字表結(jié)構(gòu)使測量更精確,操作更簡便;
  10、具有強大的測試數(shù)據(jù)查詢及打印功能;
  11、測量系統(tǒng)可實現(xiàn)自動換向測量、求平均值、最大值、最小值、平均百分變化率等;
  12、四探針頭采用進口紅寶石軸套導向結(jié)構(gòu),使探針的游移率減小,測量重復性大大提高;
  13、采用進口元器件,留有更大的安全系數(shù),大大提高了測試儀的可靠性和使用壽命;
  14、具有正測反測的功能,保證測試結(jié)果的準確性;
  15、具有抗強磁場和抗高頻設備的性能。
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